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真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐

真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐是在真空條件或保護(hù)氣氛下，利用中頻感應(yīng)原理將置于感應(yīng)線圈內(nèi)的石墨坩堝加熱，石墨坩堝中放入被制備的碳---碳復(fù)合材料。在一定真空度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度，并通入稀釋的碳?xì)錃怏w。該氣體中含碳活性基團(tuán)分解后便沉積于材料表面。這樣制備的復(fù)合材料，其耐磨性將大大增加。本設(shè)備適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳---碳復(fù)合材料，也可作為硬質(zhì)合金制品的燒結(jié)以及高溫石墨化的設(shè)備。